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    • 专利摘要:
    本發明的液體循環供應裝置，係透過外部槽用液體循環道及內部槽用液體循環道與閥裝置彼此連接收納有不同溫度液體的外部槽及內部槽與負載，在連結外部槽用送出道與內部槽用返回道的第1旁通流路連接第1開關閥，並在連結內部槽用送出道與外部槽用返回道的第2旁通流路連接第2開關閥，以液位感測器檢測上述外部槽內的液體的液位與上述內部槽內的液體的液位，在從兩槽對負載循環地供應液體的過程使兩槽內的液位偏移的場合，選擇性地開放上述第1開關閥及第2開關閥來調整液位。
    公开号:TW201303269A
    申请号:TW101109654
    申请日:2012-03-21
    公开日:2013-01-16
    发明作者:Tetsuo Sakaguchi
    申请人:Smc Corp；
    IPC主号:G05D9-00
    专利说明:
    液體循環供應裝置
    本發明是關於對負載循環地供應冷卻用液體使該負載冷卻的液體循環供應裝置，更詳細而言，關於使用液溫不同的2種類的液體使負載冷卻的液體循環供應裝置。
    例如半導體製造裝置或液晶製造裝置等的各種製造裝置中，為使發熱的該裝置(負載)冷卻保持著一定的溫度，從液體循環供應裝置循環地供應冷卻用的液體，而使得該負載冷卻。此時，如下述的專利文獻1-3所揭示，為了進行對應負載的熱量的高精度溫度控制，準備液溫不同的2種類的液體，進行以複數個三通閥等所成的混合手段選擇性供應適合於負載冷卻之液溫的液體，或混合上述2種類的液體在適合於負載冷卻之液溫的液體的狀態下供應該負載。
    上述專利文獻1及2所揭示的例中，設置：收納高溫液體的熱源槽(高溫槽)；收納低溫液體的冷源槽(低溫槽)；及複數個三通閥等所成的混合手段，以此混合手段對負載適量地供應上述熱源槽或冷源槽內的液體。專利文獻3所揭示的習知例中同樣進行大致相同的操作。
    但是，上述習知例是在離開高溫槽與低溫槽的位置上分別設置，所以2個槽專用寬廣的設置空間不僅使得裝置大型化，且必須對各個槽分別施以防露與防熱用的絕熱加工，以致構造複雜且成本也增加。
    又，從上述2個槽供應液體至負載時，隨著上述混合手段的轉換操作使液體移動於該2個槽間，使得該2個槽內的液體的液位形成大變動而偏位的狀態，容易造成各個槽內液體之溫度調整的障礙。為此專利文獻3雖設置蓄水槽來吸收冷卻側(低溫)槽與加熱側(高溫)槽之液體的增減，但是不僅更增加該蓄水槽的設置空間，從該蓄水槽未經溫度管理的液體一旦流入上述冷卻側槽及加熱側槽時，兩槽的液體的溫度調整會變得更困難。
    專利文獻1：日本專利特開2009-293867號公報
    專利文獻2：日本專利特開2009-287865號公報
    專利文獻3：日本專利特開2009-292026號公報
    本發明的目的是在使用液溫不同的2種類的液體使負載冷卻的液體循環供應裝置中，吸收隨著收納有上述液體的2個槽間之液體移動的液位變化容易進行各槽之液體的溫度調整，並可以小型且廉價地設置裝置。
    為達成上述目的，本發明的液體循環供應裝置，其特徵為，具有：收納有調整成預定溫度的第1液體的外部槽；在上述外部槽的內部設置位在比上述第1液體更上方，收納有調整成與上述第1液體不同溫度的第2液體的內部槽；以單獨或混合上述第1液體及第2液體供應給負載的閥裝置；具有將上述外部槽內的第1液體送到上述閥裝置的外部槽用送出道及使來自該閥裝置的液體回到上述外部槽內的外部槽用返回道的外部槽用液體循環道；具有將上述內部槽內的第2液體送到上述閥裝置的內部槽用送出道及使來自該閥裝置的液體回到上述內部槽內的內部槽用返回道的內部槽用液體循環道；連結上述外部槽用送出道與內部槽用返回道的第1旁通流路開合用的第1開關閥；連結上述內部槽用送出道與外部槽用返回道的第2旁通流路開合用的第2開關閥；及分別設置在上述外部槽及上述內部槽的液位感測手段，在2個槽間上述第1液體與上述第2液體的液位偏移的場合，選擇性地開放上述第1開關閥及第2開關閥以調整上述液位的上述液位感測手段。
    本發明之一構成樣態中，上述液位感測手段，具有：檢測上述外部槽內的第1液體的液位到達穩定運轉用之下方邊界的下限液位的外部槽用下限液位感測器，及檢測上述內部槽內的第2液體的液位到達穩定運轉用之下方邊界的下限液位的內部槽用下限液位感測器，上述外部槽用下限液位感測器是進行上述第2開關閥的開放，上述內部槽用下限液位感測器是進行上述第1開關閥的開放。
    又，本發明的其他構成樣態中，上述液位感測手段，具有：檢測上述外部槽內的第1液體的液位到達穩定運轉用之上方邊界的上限液位的外部槽用上限液位感測器，及檢測上述內部槽內的第2液體的液位到達穩定運轉用之上方邊界的上限液位的內部槽用上限液位感測器，上述外部槽用上限液位感測器是進行上述第1開關閥的開放，上述內部槽用上限液位感測器是進行上述第2開關閥的開放。
    又，本發明中，上述內部槽在對應穩定運轉時的第2液體之液位的常用液位的位置具有液位調整孔，構成使得從該第2液體的上述常用液位的液位上升量由該液位調整孔流入外部槽內維持著上述常用液位，並構成具有第2液體的液位超過上限液位的場合使該第2液體溢流的溢流口。
    本發明中較佳為上述外部槽具有裝置運轉結束時回收上述外部槽用液體循環道、內部槽用液體循環道、閥裝置及負載中的液體的可收納容量，又，上述內部槽是配置在即使裝置運轉中上述外部槽內的第1液體的液位上升到上述上限液位為止仍不與該第1液體接觸的位置。
    本發明具有連結上述外部槽用送出道與內部槽用返回道的第3旁通流路開合用的第3開關閥，該第3開關閥的流路剖面積可形成大於上述第1開關閥的流路剖面積。
    根據本發明，在收納有第1液體的外部槽的內部設置收納有第2液體的內部槽，與兩槽設置在各個場所的習知例比較可構成小型且廉價的裝置。並以第1開關閥及第2開關閥吸收液體在2個槽間移動所產生液位的變化，消除各槽內之劇烈且大幅度的液位變化容易進行液體的溫度調整。
    第1圖為本發明相關之液體循環供應裝置的第1實施形態的構成圖。該液體循環供應裝置，具有：收納有第1液體F1的大容量的外部槽1；收納有設置在該外部槽1的內部與上述第1液體F1不同溫度的第2液體F2的小容量的內部槽2；單獨或混合上述第1液體F1及第2液體F2供應於負載4的閥裝置3；將上述外部槽1內的第1液體F1循環地供應上述閥裝置3的外部槽用液體循環道5；將上述內部槽2內的第2液體F2循環地供應上述閥裝置3的內部槽用液體循環道6；將上述第1液體F1調整至預定溫度的第1溫度調整裝置7；將上述第2液體F2調整至預定溫度的第2溫度調整裝置8；及根據所設定的程式控制裝置整體的控制裝置9。
    本實施形態中，例如設定第1液體F1的溫度為50℃，第2液體F2的溫度為-15℃，使第1液體F1的溫度高於第2液體F2的溫度。
    另外，上述第1液體F1與第2液體F2，單純僅是溫度不同的相同液體，所以在以下的說明中，無區別兩者的必要時僅以「液體」或「液體F」稱呼。
    上述外部槽1是以底壁1a與上壁1c包圍著外面整體，在上述上壁1c形成有供液口1d，裝置的使用前將上述液體F收納於上述外部槽1內及內部槽2內時，形成可由上述供液口1d朝向內部槽2從上方供應液體F。所供應的液體F也會從內部槽2之後述的液位調整孔11及溢流口12溢流而流入外部槽1內。因此在兩槽1、2分別收納所需量的液體F。並在上述外部槽1的外面施以必要的隔熱處理。
    圖中13是可從外部監視上述外部槽1內的第1液體F1之液位的液位計。
    又，上述內部槽2具有底壁2a與側壁2b使其上面開放，在上述外部槽1的上壁1c的下面，與該上壁1c之間安裝維持著間隔的狀態，設置使整體位在比上述第1液體F1的液面上方的空間部內。並且，在該內部槽的側壁2b的上端與上述外部槽1的上壁1c下面之間形成有上述溢流口12。
    上述溢流口12是在上述內部槽2內的第2液體F2異常上升而超過穩定運轉時的上升界限的上限液位F2H的場合，作為使其上升量的液體溢流防止內部槽2的破損之用。因此該溢流口12是形成在比上限液位F2H的上方位置，其開口面積具有可確實使上述異常上升量的液體溢流的大小。
    相對於此上述液位調整孔11是在比側壁2b的上述溢流口12的低位置形成一個或複數個孔，其開口面積小於該溢流口12。亦即，該液位調整孔11是形成在對應裝置的穩定運轉時的上述第2液體F2之液位的常用液位F20的位置，運轉中使該第2液體F2的液位變動而從上述常用液位F20上升時，使其上升量的液體F溢流而流入上述外部槽1內來維持上述常用液位F20。因此，該液位調整孔11的開口面積是形成不影響外部槽1內之第1液體F1的溫度調整的流量使上述第2液體F2溢流的大小。
    再者，上述內部槽2內的第2液體F2的液位為常用液位F20時，上述外部槽1內的第1液體F1的液位也成為常用液位F10。
    如此將收納低溫之第2液體F2的內部槽2設置在外部槽1的內部，可不須在該內部槽2的底壁2a的外面及側壁2b的外面施以防露或隔熱用的加工，即使施工仍可以簡單地進行，降低成本。又，與2個槽1、2設置在各個場所的場合比較可節省設置空間，所以裝置可小型地形成。
    上述外部槽用液體循環道5，具有：連接在上述外部槽1並以第1泵16將上述第1液體F1送至上述閥裝置3的外部槽用送出道5a，及使得來自該閥裝置3的液體F回到上述外部槽1內的外部槽用返回道5b。該返回道5b的中途連接有熱交換器17，該熱交換器17中在該返回道5b內的液體與來自冷卻迴路18的冷煤(冷卻水)之間進行熱交換，藉此將該返回道5b內的液體F調整至預定的溫度後流入上述外部槽1內。此時，該外部槽1內的第1液體F1的溫度若遠低於設定溫度的場合，可以設置在該外部槽1內或流路的適當位置的加熱器19使液溫升高，藉上述熱交換器17及冷卻迴路18與加熱器19形成上述第1溫度調整裝置7。
    上述熱交換器17也可設置在外部槽1內，藉此，不僅可簡單進行該熱交換器17的隔熱處理，即使從該熱交換器17萬一產生漏液的場合可以外部槽1承接漏出的液體，安全性高。
    再者，根據上述第1液體F1的設定溫度，也可以僅設置上述熱交換器17及加熱器19的其中一方，而省略另一方，此時，上述第1溫度調整裝置7是僅以上述熱交換器17或僅以加熱器19形成。
    上述第1液體F1的溫度調整是以設置在上述外部槽1、外部槽用送出道5a、外部槽用返回道5b及負載4的1處或複數處的溫度感測器來測定液體溫度，根據其測定結果以上述控制裝置9藉著第1溫度調整裝置7的控制來進行。
    圖中以PT1為連接於上述送出道5a的溫度感測器、PS1為同壓力感測器、PT2為連接於上述返回道5b的溫度感測器、PT3為連接於上述外部槽1的溫度感測器，分別連接在上述控制裝置9。但是，省略其連接狀態的圖示。其他同樣於上述送出道5a及返回道5b，在必要的位置連接有流量計等的計器，但也省略該等的圖示。
    上述內部槽用液體循環道6，具有：安裝在上述外部槽1的上壁1c而浸漬於內部槽2內的第2泵20；連接於該泵20並將內部槽2內的第2液體F2送到上述閥裝置3的內部槽用送出道6a；及使得來自該閥裝置3的液體返回上述內部槽2內的內部槽用返回道6b。該返回道6b的中途連接有熱交換器21，該熱交換器21中在該返回道6b內的液體與來自冷卻迴路22的冷煤之間進行熱交換，藉此將該返回道6b內的液體調整至預定的溫度後流入上述內部槽2內。藉上述熱交換器21與冷卻迴路22形成上述第2溫度調整裝置8。
    上述第2泵20不限於浸漬式，也可與第1泵16同樣設置在內部槽用送出道6a的中途。
    再者，該內部槽2內的第2液體F2的溫度若遠低於設定溫度的場合，可以設置在該內部槽2內或流路的適當位置的加熱器使液溫升高。
    並且，上述熱交換器21也可設置在外部槽1的內部，藉此，不僅可簡單進行該熱交換器21的隔熱處理，即使從該熱交換器21萬一產生漏液的場合可以外部槽1承接漏出的液體，安全性高。
    上述第2液體F2的溫度調整是以設置在上述內部槽2、內部槽用送出道6a、內部槽用返回道6b及負載4的1處或複數處的溫度感測器來測定液體溫度，根據其測定結果以上述控制裝置9藉著第2溫度調整裝置8的控制來進行。
    圖中以PT4為連接於上述送出道6a的溫度感測器、PS2為同壓力感測器、PT5為連接於上述返回道6b的溫度感測器、PT6為連接於上述內部槽2的溫度感測器，分別連接在上述控制裝置9。但是，省略其連接狀態的圖示。其他同樣於上述送出道6a及返回道6b，在必要的位置連接有流量計等的計器，但也省略該等的圖示。
    上述外部槽用液體循環道5的外部槽用送出道5a與內部槽用液體循環道6的內部槽用返回道6b是以第1旁通流路23彼此連接，在該第1旁通流路23連接有雙埠閥所成的第1開關閥24，以上述控制裝置9進行開合控制。該第1開關閥24在設置於內部槽2內部的下限液位感測器25檢測出第2液體F2的液位降低時，根據其檢測訊號而開放，將外部槽用送出道5a內的液體F的一部份朝著內部槽用返回道6a進行補給。
    又，上述內部槽用液體循環道6的內部槽用送出道6a與外部槽用液體循環道5的外部槽用送出道5b是以第2旁通流路26彼此連接，在該第2旁通流路26連接有雙埠閥所成的第2開關閥27，以上述控制裝置9進行開合控制。該第2開關閥27在設置於外部槽1內部的下限液位感測器28檢測出第1液體F1的液位降低時，根據其檢測訊號而開放，將內部槽用送出道6a內的液體F的一部份朝著外部槽用返回道5a進行補給。
    另外，上述外部槽用送出道5a與內部槽用返回道6b是以第3旁通流路29彼此連接，在該第3旁通流路29連接有雙埠閥所成的第3開關閥30，以上述控制裝置9進行開合控制。該第3開關閥30是在裝置的維修時等根據開關操作及來自外部的電力、空氣等的操作訊號來開合，使內部槽2內的第2液體F2的溫度上升至常溫程度之用，將外部槽用送出道5a內的液體F的一部份朝著內部槽用返回道6a進行補給。
    因此，上述第1開關閥24及第2開關閥27的流路剖面積與上述外部槽用及內部槽用的送出道5a、6a及返回道5b、6b的流路剖面積比較形成十分地小，從上述外部槽用送出道5a朝向內部槽用返回道6b，或從上述內部槽用送出道6a朝向外部槽用返回道5b，形成以小流量的液體進行補給，藉此，對於上述外部槽1內及內部槽2內之液體的溫度調整不會產生大的影響。
    相對於此，上述第3開關閥30為使內部槽2內的第2液體F2的溫度迅速地上升，流路剖面積與上述第1開關閥24及第2開關閥27比較形成較大，可以有大流量的液體流動。
    再者，該第3開關閥30也可在上述第1旁通流路23與上述第1開關閥24並排連接。此時，上述第1旁通流路23兼作為上述第3旁通流路29。
    上述第1-第3開關閥24、27、29可使用電磁操作式或引導操作式或電動式等任意的方法進行開合操作的開關閥。
    在上述外部槽1的內部，設有：檢測當第1液體F1的液位降低到達運轉時之下方邊限的下限液位F1L後輸出檢測訊號的上述下限液位感測器28，及檢測出該第1液體F1的液位超過上述下限液位F1L的異常下降而輸出檢測訊號的非常液位感測器32，分別連接於上述控制裝置9。
    並且，根據來自上述下限液位感測器28的檢測訊號以上述控制裝置9使第2開關閥27開放，將內部槽用送出道6a的液體補給至外部槽用返回道5b，藉以使外部槽1內的液位上升。並從上述非常液位感測器32輸出檢測訊號時，發出警報使上述第1泵16停止或使第1及第2泵16、20停止。
    另一方面，在上述內部槽2的內部，設有：檢測當第2液體F2的液位降低到達下限液位F2L後輸出檢測訊號的上述下限液位感測器25，及檢測出該第2液體F2的液位超過上述下限液位F2L的異常下降而輸出檢測訊號的非常液位感測器33，分別連接於上述控制裝置9。
    並根據來自上述下限液位感測器25的檢測訊號使上述第1開關閥24開放，將外部槽用送出道5a的液體補給至內部槽用返回道6b，藉以使該內部槽2內的液位上升。並從上述非常液位感測器33輸出檢測訊號時，發出警報使上述第2泵20停止或使第1及第2泵16、20停止。
    接著，針對具有上述構成的液體循環供應裝置的動作說明。在裝置的運轉中第1泵16及第2泵20皆被驅動，外部槽1內的第1液體F1及內部槽2內的第2液體F2一邊在上述外部槽用液體循環道5及內部槽用液體循環道6循環一邊供應至閥裝置3，藉控制裝置9進行該閥裝置3的切換操作，藉以使適合負載4冷卻的溫度的液體通過外部配管4a而選擇性地供應至負載4，或各以適量混合第1液體Fl與第2液體F2使調整為適合負載4冷卻之溫度的液體通過上述外部配管4a而供應至負載4。上述閥裝置3也可以進行負載4的控制之其他控制裝置38來切換操作。
    並且，隨著上述閥裝置3的切換操作，通過該閥裝置3使液體移動於上述外部槽1與內部槽2之間，使得液位在兩槽1、2內變動。
    現在，第1圖中，外部槽1內的第1液體F1的液位從實線表示的常用液位F10下降時，內部槽2內的第2液體F2的液位僅上升該量。
    並且，上述外部槽1內的液位在未下降到下限液位F1L為止的狀況下，在上述內部槽2內，第2液體F2的液位上升量是從液位調整孔11流入外部槽1內來吸收液位變動，使兩槽1、2內的液位恢復至常用液位F10及F20。
    此時，上述外部槽1中，根據低溫之第2液體F2的流入而顯示第1液體F1的溫度有若干降低傾向，但是，由於其流入量少，不會受到因第1溫度調整裝置7進行溫度調整的大的影響，可立即恢復至設定溫度。
    另一方面，上述外部槽1內的液位下降到下限液位F1L為止的場合，使該外部槽1內的下限液位感測器28動作，輸出檢測訊號以開放第2開關閥27，使內部槽用送出道6a的液體的一部份通過第2旁通流路26而流入外部槽用返回道5b內，進行外部槽1內的補給。此時，內部槽2內的液位從常用液位F20上升的場合，也進行從上述液位調整孔11的溢流。
    上述第2開關閥27使得外部槽1內的液位恢復關閉上述下限液位感測器28，或者在開放該第2開關閥27之後經過一定的時間後關閉，停止從第2旁通流路26之液體的補給。但是，由於從上述液位調整孔11朝向外部槽1內之第2液體F2的流入仍持續地進行，可使兩槽1、2內的液體的液位恢復到常用液位F10及F20。
    此時也由於流入外部槽1內的低溫的第2液體F2的流量少，所以對於該外部槽1內之第1液體F1的溫度調整不致有大的影響。
    上述第1液體F1的液位超過上述下限液位F1L而異常下降的場合，非常液位感測器32會檢測出其下降而輸出檢測訊號，發出警報以停止上述第1泵16停止或使得第1及第2泵16、20停止。
    此時，上述內部槽2中，第2液體F2的液位超過上限液位F2H到達溢流口12的位置為止的場合，從該溢流口12溢流，防止該內部槽2的破損。
    接著，上述外部槽1內的第1液體F1的液位從實線表示的常用液位F10的位置上升的場合，內部槽2內的第2液體F2的液位僅會下降該量。
    並且，上述內部槽2內的第2液體F2的液位下降至下限液位F2L為止的場合，上述外部槽1內的第1液體F1的液位雖會上升到上限液位F1H的位置為止，但藉著設置在該內部槽2內的下限液位感測器25的動作輸出檢測訊號來開放第1開關閥24，使得流動於外部槽用送出道5a的液體的一部份通過第1旁通流路23而流入內部槽用返回道6b內，進行內部槽2內的補給。
    上述第1開關閥24使得內部槽2內的液位恢復關閉上述下限液位感測器25，或者在開放該第1開關閥24之後經過一定的時間後關閉，停止從第1旁通流路23之液體的補給。
    此時，上述內部槽2中，根據高溫的第1液體F1的流入而顯示第2流體F2的溫度有若干上升的傾向，但由於其流入量少，所以第2溫度調整裝置8進行溫度調整不致有大的影響，可立即恢復至設定溫度。
    又，上述第2液體F2的液位超過上述下限液位F2L而異常下降的場合，非常液位感測器33會檢測出其下降而輸出檢測訊號，發出警報以停止上述第2泵20停止或使得第1及第2泵16、20停止。
    此時，即使上述泵16、20停止，根據上述閥裝置3的切換狀態液體有回到內部槽2內的可能性，因此再該內部槽2內的液體上升的場合，藉著從上述液位調整孔11或溢流口12的溢流可防止該內部槽2的破損。
    在上述第1開關閥24關閉停止從第1旁通流路23之液體的補給的階段，兩槽1、2內的液體的液位雖也有不能到達常用液位F10、F20，但仍是在可穩定運轉的範圍內，對裝置的運轉不會有影響。但是，也可以其他的液位感測器檢測至少一方之槽內的液體是否為常用液位，在恢復到常用位為止時關閉上述第1開關閥24。對此上述第2開關閥27也是相同。
    裝置的運轉結束時，將所有循環中的液體F回收。此時通過內部槽用液體循環道6在閥裝置3及負載4循環中的液體還流至內部槽2內，從上述液位調整孔11及溢流口12溢流而流入外部槽1內。另一方面，通過外部槽用液體循環道5在閥裝置3及負載4循環中的液體則直接還流至外部槽1內。
    因此，上述外部槽1的容量形成可將來自上述外部槽用液體循環道5、內部槽用液體循環道6、閥裝置3及負載4的液體F收容於該外部槽1內的大小。此時，該外部槽1內的液體與上述內部槽2在液體回收後並非有維持著非接觸狀態的必要，也可以使該內部槽2的一部份或全部(溢流口12的位置為止)形成浸漬於液中的狀態。亦即，外部槽1的容量可具有在液體回收後該液體不會溢出外部的大小。
    但是，上述內部槽2是以在裝置運轉中上述外部槽1內的第1液體F1的液位即使上升到上述上限液位FIH的位置為止的場合，配置在與該第1液體F1不接觸的位置為佳。
    進行裝置的維護時，有使得外部槽1內的液體F1與內部槽2內的液體F2的溫度平均化的必要。因此，以開關操作或來自外部的電、空氣等的操作訊號使大流量的上述第3開關閥30開放時，進行外部槽用送出道5a對內部槽用返回道6b的補給而流入上述內部槽2內，使該內部槽2內的液體F2的溫度上升。與此同時，由於該內部槽2內的液體F2從上述液位調整孔11及溢流口12溢流而流入外部槽1內，所以該外部槽1內的液體F1的溫度會降低，使得兩槽1、2內的液體的溫度平均化。
    此時，也可設置直接連結上述內部槽2與外部槽1的溢流管來取代上述第3開關閥30，或外加於該第3開關閥30，以大流量的開關閥進行該溢流管的開合。
    上述第1實施形態是以下限液位感測器25及28檢測出外部槽1內及內部槽2內之液體液位的降低時，藉此開放上述第1及第2開關閥24、27，但是有可以如第2圖的第2實施形態，在外部槽1及內部槽2的內部分別設置上限液位感測器35、36來取代上述下限液位感測器25、28，以該感測器35、36檢測出各槽1、2內的液體的液位上升至上限液位F10、F20為止開放上述第1及第2開關閥24、27。
    此時，根據外部槽1內的上限液位感測器35的動作開放第1開關閥24，使流動於外部槽用送出道5a的液體的一部份通過第1旁通流路23流入到內部槽用返回道6b內，進行內部槽2的補給。並根據內部槽2內的上限液位感測器36的動作開放第2開關閥27，使內部槽用送出道6a的液體的一部份通過第2旁通流路26流入外部槽用返回道5b內，進行外部槽1的補給。
    該第2實施形態的上述以外的構成及作用是與第1實施形態相同，因此對主要相同構成部份賦予和第1實施形態相同的符號並省略其說明。
    再者，上述各實施形態中，在內部槽2設置液位調整孔11，第2液體F2的液位從常用液位F20上升的場合，從上述液位調整孔11使得該第2液體F2的一部份流入外部槽1內藉以使兩槽內的液位維持著常用液位F10、F20，但是兩槽1、2內的液體的液位只要是在上限液位F1H、F2H與下限液位F1L、F2L之間裝置即可運轉，因此該液位調整孔11並非必要，也可以省略。
    又，上述各實施形態中，外部槽1內的第1液體F1的溫度雖設定比內部槽2內的第2液體F2的溫度還高，但也可與此相反，設定使外部槽1內的第1液體F1的溫度比內部槽2內的第2液體F2的溫度低。
    另外，如第1圖的一點虛線表示，也可以第1液體F1使外部槽1形成滿水的場合根據需要而設置使警報動作的其他液位感測器37。
    又，在上述實施形態中，上述液位感測器構成為浮動式，通常在關閉的狀態，當檢測出液位的變化時啟動輸出檢測訊號，但也可構成與此相反，通常是在啟動的狀態，當檢測出液位的變化時即關閉以此作為檢測訊號。
    或者，也可使用光學方法以模擬式或數位式地檢測液面即液位的的光學式的液位感測器，或藉著測定存在於槽內的液體的重量以模擬式或數位式地檢測該液體的增減即液位的上升及下降的無階段或多階段檢測的液位感測器來代替上述浮動式的液位感測器。此時，將來自各感測器的檢測訊號輸出到控制裝置，再形成預定的液位時以該控制裝置進行第1及第2開關閥的開合控制。
    1‧‧‧外部槽
    1a‧‧‧底壁
    1b‧‧‧側壁
    1c‧‧‧上壁
    1d‧‧‧供液口
    2‧‧‧內部槽
    2a‧‧‧底壁
    2b‧‧‧側壁
    3‧‧‧閥裝置
    4‧‧‧負載
    5‧‧‧外部槽用液體循環道
    5a‧‧‧外部槽用送出道
    5b‧‧‧外部槽用返回道
    6‧‧‧內部槽用液體循環道
    6a‧‧‧內部槽用送出道
    6b‧‧‧內部槽用返回道
    7‧‧‧第1溫度調整裝置
    8‧‧‧第2溫度調整裝置
    9‧‧‧控制裝置
    11‧‧‧液位調整孔
    12‧‧‧溢流口
    13‧‧‧液位計
    16‧‧‧第1泵
    17‧‧‧熱交換器
    18‧‧‧冷卻迴路
    19‧‧‧加熱器
    20‧‧‧第2泵
    21‧‧‧熱交換器
    23‧‧‧第1旁通流路
    24‧‧‧第1開關閥
    25‧‧‧下限液位感測器
    26‧‧‧第2旁通流路
    27‧‧‧第2開關閥
    28‧‧‧下限液位感測器
    29‧‧‧第3旁通流路
    30‧‧‧第3開關閥
    F1‧‧‧第1液體
    F1L‧‧‧下限液位
    F2‧‧‧第2液體
    F2H‧‧‧上限液位
    F2L‧‧‧下限液位
    F20‧‧‧常用液位
    PS1‧‧‧同壓力感測器
    PT1‧‧‧溫度感測器
    PT2‧‧‧溫度感測器
    PT3‧‧‧溫度感測器
    PT4‧‧‧溫度感測器
    PT5‧‧‧溫度感測器
    PT6‧‧‧溫度感測器
    第1圖為本發明相關之液體循環供應裝置的第1實施形態的構成圖。
    第2圖為本發明相關之液體循環供應裝置的第2實施形態的構成圖。
    1‧‧‧外部槽
    1a‧‧‧底壁
    1b‧‧‧側壁
    1c‧‧‧上壁
    1d‧‧‧供液口
    2‧‧‧內部槽
    2a‧‧‧底壁
    2b‧‧‧側壁
    3‧‧‧閥裝置
    4‧‧‧負載
    4a‧‧‧外部配管
    5‧‧‧外部槽用液體循環道
    5a‧‧‧外部槽用送出道
    5b‧‧‧外部槽用返回道
    6‧‧‧內部槽用液體循環道
    6a‧‧‧內部槽用送出道
    6b‧‧‧內部槽用返回道
    7‧‧‧第1溫度調整裝置
    8‧‧‧第2溫度調整裝置
    9‧‧‧控制裝置
    11‧‧‧液位調整孔
    12‧‧‧溢流口
    13‧‧‧液位計
    16‧‧‧第1泵
    17‧‧‧熱交換器
    18‧‧‧冷卻迴路
    19‧‧‧加熱器
    20‧‧‧第2泵
    21‧‧‧熱交換器
    22‧‧‧冷卻迴路
    23‧‧‧第1旁通流路
    24‧‧‧第1開關閥
    25‧‧‧下限液位感測器
    26‧‧‧第2旁通流路
    27‧‧‧第2開關閥
    28‧‧‧下限液位感測器
    29‧‧‧第3旁通流路
    30‧‧‧第3開關閥
    32‧‧‧非常液位感測器
    33‧‧‧非常液位感測器
    37‧‧‧其他液位感測器
    38‧‧‧其他控制裝置
    F1‧‧‧第1液體
    F1H‧‧‧上限液位
    F1L‧‧‧下限液位
    F2‧‧‧第2液體
    F2H‧‧‧上限液位
    F2L‧‧‧下限液位
    F10‧‧‧常用液位
    权利要求:
    Claims (7)
    [1] 一種液體循環供應裝置，其特徵為，具有：外部槽，收納有調整成預定溫度的第1液體；內部槽，在上述外部槽的內部設置位在比上述第1液體更上方，收納有調整成與上述第1液體不同溫度的第2液體；閥裝置，以單獨或混合上述第1液體及第2液體供應給負載；外部槽用液體循環道，具有：將上述外部槽內的第1液體送至上述閥裝置的外部槽用送出道，及使來自該閥裝置的液體回到上述外部槽內的外部槽用返回道；內部槽用液體循環道，具有：將上述內部槽內的第2液體送到上述閥裝置的內部槽用送出道，及使來自該閥裝置的液體回到上述內部槽內的內部槽用返回道；第1開關閥，係使連結上述外部槽用送出道與內部槽用返回道的第1旁通流路開合之用；第2開關閥，係使連結上述內部槽用送出道與外部槽用返回道的第2旁通流路開合之用；及液位感測手段，分別附設於上述外部槽及上述內部槽，在2個槽間上述第1液體與上述第2液體的液位偏移的場合，選擇性地開放上述第1開關閥及第2開關閥以調整上述液位。
    [2] 如申請專利範圍第1項記載的液體循環供應裝置，其中，上述液位感測手段，具有：檢測上述外部槽內的第1液體的液位到達穩定運轉用之下方邊界的下限液位的外部槽用下限液位感測器，及檢測上述內部槽內的第2液體的液位到達穩定運轉用之下方邊界的下限液位的內部槽用下限液位感測器，上述外部槽用下限液位感測器是進行上述第2開關閥的開放，上述內部槽用下限液位感測器是進行上述第1開關閥的開放。
    [3] 如申請專利範圍第1項記載的液體循環供應裝置，其中，上述液位感測手段，具有：檢測上述外部槽內的第1液體的液位到達穩定運轉用之上方邊界的上限液位的外部槽用上限液位感測器，及檢測上述內部槽內的第2液體的液位到達穩定運轉用之上方邊界的上限液位的內部槽用上限液位感測器，上述外部槽用上限液位感測器是進行上述第1開關閥的開放，上述內部槽用上限液位感測器是進行上述第2開關閥的開放。
    [4] 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項記載的液體循環供應裝置，其中，上述內部槽在對應穩定運轉時的第2液體之液位的常用液位的位置具有液位調整孔，構成使得從該第2液體的上述常用液位的液位上升量由該液位調整孔流入外部槽內以維持上述常用液位。
    [5] 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項記載的液體循環供應裝置，其中，上述內部槽具有第2液體的液位超過上限液位的場合使該第2液體溢流的溢流口。
    [6] 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項記載的液體循環供應裝置，其中，上述外部槽具有裝置運轉結束時回收上述外部槽用液體循環道、內部槽用液體循環道、閥裝置及負載中的液體的可收納容量，又，上述內部槽是配置在即使裝置運轉中上述外部槽內的第1液體的液位上升到上述上限液位為止仍不與該第1液體接觸的位置。
    [7] 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項記載的液體循環供應裝置，其中，具有使連結上述外部槽用送出道與內部槽用返回道的第3旁通流路開合用的第3開關閥，該第3開關閥的流路剖面積是形成大於上述第1開關閥的流路剖面積。
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